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泰思肯扫描电镜SEM, MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜,它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号,在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪,以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。
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