EMS 150R离子溅射镀膜仪是一款多功能紧凑型机械泵抽真空镀膜系统,对于SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm的腔室可容纳多种需要镀膜的样品,在SEM应用中提高成像质量。
EMS150R ES这个双重用途、结构紧凑、机械泵抽真空的镀膜系统可提供无与伦比的多用途镀膜,其标配有溅射插入头和碳丝蒸发插入头。快速、易更换的镀膜插入头,能在同一个紧凑设计中实现金属溅射、碳蒸镀和辉光放电三者之间的快速转换。注意,辉光放电选项限EMS150R S和EMS150R ES可用,它可实现样品表面改性(如疏水表面改为亲水表面)。
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离子溅射仪
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