半球半导体专用检测仪器设备, 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。? 自动变更反射测量角度，可得到更详细的薄膜解析数据。? 采用正弦杆自动驱动方式，展现测量角度变更时优异的移动精度。? 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。? 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。