主要技术指标
1、工作模式:接触模式、轻敲模式,可选配摩擦力、相位、磁力或静电力
2、样品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
3、扫描范围:XY向20um,Z向2um
4、扫描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
5、样品移动范围:±6.5mm
6、马达趋近脉冲宽度:10±2ms
7、图像采样点:256×256,512×512
8、光学放大倍数4X,光学分辨率2.5um
9、扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360°
10、扫描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
11、数据采样:14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
12、反馈方式:DSP数字反馈
13、反馈采样速率:64.0KHz
14、计算机接口:USB2.0
15、运行环境:运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统
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经销商
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