泰思肯VEGA 3 LMU/LMH扫描电镜

VEGA 3 LMU/LMH是TESCAN推出的扫描电子显微镜系列，以高品质，完全计算机控制，用户友好界面为基础的系列产品。具有使用方便，产品质量稳定，分析高效为特点的独创设计。

 1.独有的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。 

 2.成像速度快。 

 3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 

 4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 

 5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。 

 6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。 

 7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 

 8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 

 9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。 

 10.强大的自动功能:全自动真空控制，灯丝自动加热，自动电子枪校正 (Auto gun alignment)，改变加速电压，自动补偿偏压，改变电子束大小，电子束探测电流自动跟随改变，改变放大倍率， 

 自动调整电子束大小，依据讯号/噪声比自动调整扫描速度，自动对比/亮度调整，自动聚焦，自动调整像差，Look Up Table自动调整等。 

 11.完全自动的软件安装. 

 12.强大的图象处理功能，使用专业的电镜控制软件，图像抓取，加工，处理和分析;

仪器简介：

VEGA 3 LMU/LMH是TESCAN推出的扫描电子显微镜系列，以高品质，完全计算机控制，用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便，产品质量稳定，分析高效为特点的独创设计. 

1.独有的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。 

2.成像速度快。 

3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 

4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 

5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。 

6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。 

7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 

8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 

9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。 

10.强大的自动功能:全自动真空控制，灯丝自动加热，自动电子枪校正 (Auto gun alignment)，改变加速电压，自动补偿偏压，改变电子束大小，电子束探测电流自动跟随改变，改变放大倍率， 

自动调整电子束大小，依据讯号/噪声比自动调整扫描速度，自动对比/亮度调整，自动聚焦，自动调整像差，Look Up Table自动调整等。 

11.完全自动的软件安装. 

12.强大的图象处理功能，使用专业的电镜控制软件，图像抓取，加工，处理和分析; 

I.影像显示尺寸 

1)实时图像显示尺寸：共有512x512， 768x768， 1024x1024等3种方式。 

2)储存图像显示尺寸：共有512x512， 768x768， 1024x1024， 1280x1280， 1536x1536， 2048x2048， 2560x2560， 4096x4096，8192x8192等9种方式。 

3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 

4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。 

II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。 

III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。 

IV.动态聚焦，点&线扫描 

V. 图像处理(Image processing)：提供15种图像处理功能。 

直方图(Histogram)，锐化(Sharpening)，等效化(Adaptive Equalisation)，对比微分化(Differential Contrast)，中值滤波(Median Filter)，去噪声化(Noise Reduction)，自动对比调整(Auto Contrast)，阴影补正(Shading Correction)，结构化(Structure)，反相化(Invert)，灰阶化(Convert to  8 bits grayscale)，真实色彩化(Convert to 24 bits true color)，图像旋转90度(Rotation 90 degree)，图像翻转(Flip)，傅立叶转换(Fourier Transformation)。 

VI.量测功能：提供13种图像量测的功能 

1).可分析彩色影像的RGB值。 

2).可量测线的长度。 

3).可量测任意两点的距离。 

4).可量测不规则形状的长度。 

5).可量测任意夹角。 

6).可量测不规则形状的面积和周长。 

7).可量测圆形的直径和周长。 

8).可量测任意三点所行成的圆形的直径和周长。 

9).可量测椭圆形的长、短轴长度和周长。 

10).可量测正方形面积。 

11).可量测长方形长和宽。 

12).可量测四边形长、宽和周长。 

13).可精确量测任意两点的距离(任何放大倍率下，误差小于3%)。 

14).可划指示箭头。 

15).可写说明文字。 

16).可在图像上标示Micro Bar。 

17).字型、字体大小、颜色可任意设定。 

18).可列表作统计处理，并可以储存。 

19).实时或储存的图像均可处理。 

VII.图像存盘： 

1).浏览已储存图像的相本。 

2).找寻已储存图像的数据库系统。 

3).报告产生及从程序中直接打印。 

4).实时或储存的图像均可处理。 

13.卓越的分析品质; 

1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 

2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。 

3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。 

4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 

5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 

6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。 

7)公差 

可选配软件 

8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。 

9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。 

10)自动连续截图 

11)样品观测 

12)鼠标连接：安装该软件后，可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。

主要特点：

国内唯一一家使用中文操作界面的电镜厂商 

1.电磁式电子枪自动对中; 

2.可以提供四种观察影像模式：分辨率模式；景深模式；视野模式；大视野模式；很方便寻找样品位置；

3.红外线样品室内摄像装置，可以在测量同时观测样品；

4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，抽真空速度快，在更换样品后，三分钟就可达到待测状态；并且不需要使用冷却水冷却。

5.采用气垫减震系统 

6.先进的软件系统，在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 

7.11个外扩展接口. 

8.可对SEM进行远程控制