四探针电阻率测量仪FT—SD10

功能描述Description：

1. 四探针单电测量方法

2. 液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.

3. 高集成电路系统、恒流输出.

4. 选配：PC软件进行数据管理和处理.

5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择 

满足标准：

1.硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

工作原理和计算公式

1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：

直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：

四探针测试结构

从以上计算公式可以看出：方阻RS只取决于R1和R2，与探针间距无关．针距相等与否对RS的结果无任何影响，本公司所生产之探针头全部采用等距，偏差微小，对测试结果更加。

步骤及流程

1. 开启电源，预热5分钟.

2. 装配好探头和测试平台.

3. 设定所需参数.

4. 测量样品

5. 导出数据.

优势描述：

1. 自动量程

2. 高准确稳定性.

3. 双电组合测试方法

4. 标准电阻校准仪器

5. PC软件运行

6. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.

7. 最多可显示5位有效数字.

8. 中、英文界面