台阶测量仪

NanoMap-D 台阶仪
NanoMap-D三维台阶仪是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。 该款仪器可以看做是表面研究的万用表，采用接触式和非接触式功能集于一身的设计特点，弥补两种模式的局限，发挥表面形貌仪的测量极限。光学非接触式有速度快，直接三维成象，不破坏样品等特点。探针接触模式方便快捷，制样简单，测量材料广泛。两种模式相结合可以对更多形状、性状、材质的试样进行表面形貌的研究。
台阶仪又名三维表面形貌或轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。

NanoMap-D台阶仪测量表面可以覆盖90%以上材料表面。设备传感器精度高，稳定性好，材料应用面广。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.01 nm ( phase-shift mode) 可测跨学科、跨领域的各种样品表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
1、三维表面结构：粗糙度,波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等 
2、二维图像分析：距离,半径,斜坡,格子图, 轮廓线等 
3、表界面测量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面 
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量 
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量 
6、微电子表面分析和MEMS表征




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