多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM

主要特点：

◎  能够达到学术研究级的多功能喷金仪

◎  SEM托、TEM网、普通样品多种专用样品台可选

◎  可安装两个2英寸溅射源

◎  通用的溅射靶材

◎  本底真空<5×10^-7 mbar

◎  流量计精确控制生长气氛

◎  可调式DC溅射源，输出功率可达300W

◎  全自动，引导式触屏控制

◎  完备的安全性设计

◎  易于维护

◎  兼容超净室

◎  稳定的性能表现

系统选件：

◎  腔体视窗

◎  真空泵型号可选

◎  气压全自动控制系统

◎  溅射源挡板

◎  等离子体辉光电极

◎  样品台旋转与倾斜

◎  晶振膜厚监测系统