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仪器简介：
JIB-4610F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪，对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体，应用范围广泛。
技术参数：
FIB 分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 1.2nm, 30kV
气体输入系统 1-3
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扫描电镜SEM
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