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日本电子电镜制样设备, 用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER样品制备的创新方法 离子切片仪制备薄膜样品比传统制备工具快速、简单。低能量、低角度(0°到6°)的氩离子束通过遮光带照射样品,大大降低了离子束对样品的辐照损坏。即使是柔软的材料,制备的薄膜质量也极好,对不同成份的样品甚至含有多孔合成物也都能够有效制备。
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