2850412321
产品规格
| IB-09060CIS | |||
| 离子加速电压 | 1 ～ 8kV | ||
| 倾斜角 | zei大±6º(0.1º/步) | ||
| 离子束直径 | 500μm(FWHM) | ||
| 研磨速率 | 5μm/min(加速电压:8kV、Si换算) | ||
| 使用气体 | 氩气 | ||
| zei大样品尺寸 | 2.8mm(长度)×1.0 mm(宽度)×0.1mm(厚度) | ||
| 样品冷却 | 样品架冷却温度 | -120℃ | |
| 冷却到达时间 | 1小时 | ||
| 冷却保持时间 | 8小时 | ||
| 样品取出时间 | 30分钟 | ||
| 压力测试 | 潘宁规 | ||
| 主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | ||
| CCD相机 | 内置 | ||
| 尺寸 重量 | 主机 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、70kg | |
| 机械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | ||
| 液晶显示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | ||
安装条件
| IB-09060CIS | |
| 电源 | 单相100 ～ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ～ 0.6kVA |
| 接地线 | 独立地线(100Ω以下) |
| 氩气 | 使用压力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm²) 纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/8 |
| 室温 | 20 ～ 25℃ |
| 湿度 | 60% 以下 |
*产品外观及技术规格可能未经预告而有所变更。
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