二次电子图象分辨率 | 3.0nm@ 30kV(SE) | 放大倍数 | 5 ~ 1,000,000×(宝丽来相纸放大) |
样品台 | 五轴全自动马达驱动 | 探测器 | 高真空二次电子探测器ETD |
背散射电子图像分辨率 | 8.0 nm@ 3kV(SE) | 加速电压 | 200V ~ 30kV |
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