原子层沉积技术实验室
400-6699-117转1000
实验室主要研究方向:
（1）ALD前驱体的设计、合成及其产业化；
（2）ALD薄膜材料的制备及其应用；
（3）ALD装备的开发及产业化。
原子层沉积技术实验室
应用方向
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测试服务
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