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四川省微波毫米波工程技术研究中心
四川省微波毫米波工程技术研究中心于2009年由四川省科技厅批准建设，本工程技术中心以电子科技大学为主体，整合国营081总厂，国营970厂和成都赛英科技有限公司等行业内其它单位资源，建成在国内涵盖微波毫米波技术领域的高水平研究基础和工程中心。 本研究中心突出应用基础研究和共性技术研究，承担了多项国家
原子层沉积技术实验室
实验室主要研究方向: （1）ALD前驱体的设计、合成及其产业化； （2）ALD薄膜材料的制备及其应用； （3）ALD装备的开发及产业化。 &nb
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