中国科学技术大学 电镜中心
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室成立于2005年。实验室已建设成了由中科院院士、精密机械与微纳机械专家、大连理工大学王立鼎教授担任实验室主任，集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等于一体的研究机构，是东北三省微机电系统研发联合体的牵头单位和大连理工大学“211 工程”、&
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