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芯片车间洁净度要求

2022.5.06

1、万级电子无尘车间参数要求换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次;100≥500次;

2、压差:主车间对相邻房间≥5Pa;

3、平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;

4、温度:冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃;

5、湿度:45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。

6、噪声:≤65dB(A);

7、照度:300LX;

8、新风补充量是总送风量的10%-30%。

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