发文至
分享至
分享至
中科院微电子所过亿元仪器设备采购大单揭晓
自2010年1月20日起至2010年11月18日，中国科学院微电子研究所共发布十三批仪器设备采购项目招标公告，其中已发布中标及成交结果公告的信息统计如下：
采购人名称：中国科学院微电子研究所
采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司
项目联系人：窦志超
联系电话：010-68725599-8447
| 包号 | 仪器设备名称 | 中标供应商名称 | 中标金额 |
| 第二批 | |||
| 第1包 | 等离子体喷涂实验系统 | 廊桥实业（香港）有限公司 | 52.876万美元 |
| 第三批 | |||
| 第1包 | 高分辨率场发射扫描电镜 | 天美（中国）科学仪器有限公司 | 107.0700万美元 |
| 第六批 | |||
| 第1包 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | 伯东企业（上海）有限公司 | 19.7万美元 |
| 第七批 | |||
| 第2包 | 涂胶显影机 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 295万人民币 |
| 第4包 | 步进光刻机 | 上海微高精密机械工程有限公司 | 398万人民币 |
| 第5包 | 光学轮廓仪 | 维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司 | 11.2万美元 |
| 第6包 | 电子束蒸发台 | 爱韩华（无锡）电子有限公司 | 165万人民币 |
| 第8包 | 全自动清洗机 | 弘塑科技股份有限公司 | 63万美元 |
| 第9包 | 等离子去胶机 | Mattson Technology Inc | 37.5万美元 |
| 第八批 | |||
| 第1包 | 信号分析仪 | 安捷伦科技新加坡销售（私人）有限公司 | 12.15万美元 |
| 第九批 | |||
| 第1包 | 超低能离子注入机 | 维利安精密仪器维修（上海）有限公司 | 199万美元 |
| 第2包 | 金属栅刻蚀机、氧化硅/氮化硅刻蚀机 | Lam Research International Sarl | 380万美元 |
| 第3包 | 化学机械研磨机 | 汉民科技股份有限公司 | 168万美元 |
| 第4包 | 单片清洗机、单片湿法腐蚀设备 | Lam Research International Sarl | 165万美元 |
| 第5包 | 单片清洗机 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 44万美元 |
| 第十批 | |||
| 第1包 | 化学清洗线、蚀刻线、显影线、去膜线 | 铨億机械股份有限公司 | 50.5万美元 |
| 第2包 | 半自动曝光机 | 上海欧托科国际贸易有限公司 | 42.52万美元 |
| 第3包 | 机械钻孔机 | 金富宝亚太有限公司 | 13.80万美元 |
| 第5包 | 真空压膜机 | 联策科技（股份）有限公司 | 40.251万美元 |
| 第6包 | 封装基板等离子清洗机 | 盈泰国际（集团）有限公司 | 13万美元 |
| 第7包 | 精密压机 | 博可机械（上海）有限公司 | 14.58万美元 |
| 第8包 | 化铜线、镀铜线 | 安美特（中国）化学有限公司上海青浦分公司 | 人民币280万元 |
| 第十一批 | |||
| 第1包 | 半自动清洗机 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 人民币160万元 |
| 第2包 | 扩散炉系统 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 人民币405万元 |
| 第3包 | 多晶硅低压化学气相淀积系统 | 镭社有限公司 | 45.05万美元 |
| 第4包 | 膜厚仪 | Spectramax International Limited | 美元31.80万元 |
| 第6包 | 多晶硅刻蚀机 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 人民币1139.4942万元 |
推荐
