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激光干涉仪的工作原理是什么

2023.4.10

激光干涉仪,对于机床的精准测量与校正提供了有效的解决方案。

能同时进行三维数据测量,其距离方向(Z轴)的测量值为纳米精度。此方案适用于质量监控,特别是在机床的校准方面。

优点:测量精确度高,友好的用户界面和完整的数据记录以及存档。产品的性价比高。

缺点:设置干涉仪时需格外小心。激光光束在测量期间不允许被中断。

 

激光发射器,激光接收器(PSD)和均衡器都集成在µLine F1中。

StatusPro的干涉仪是双频激光干涉仪,其频率差为7M。

 

可以通过手动,半自动或全自动的方式进行测量点的数据采集。友好的用户界面,各个组件之间全部为无线蓝牙连接。优秀的软件能自动生成G代码与均衡表,无需复杂的转换。除了普遍生成的格式,还为客户提供特定的控制变量进行使用,例如:Siemens,Fanuc和Haidenhain。

软件生成的测量报告和图表完全符合ISO/DIS 230和PN-93 M55580的标准。统计结果是按照ISO230-2(欧洲),VDI/DGQ 3441(德国),NMTBA(美国),BSIBS 4656条款16(英国),PN-93 M5580(波兰)的标准进行制订和存储的。

 

 

原理简介

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其基本原理是依据光波的叠加。从激光发射器射出的激光被分光器分为两束激光。一束激光经过固定反射器被偏转从而反射回激光接收器,成为参考激光(如图:红色的激光)。另一束激光通过分光器(如图:还是红色的激光)和移动反射器(如图:绿色的激光)成为测量激光。参考激光和测量激光通过分光器后汇合(光波叠加)并彼此干涉的被激光接收器所接收。以此称为干涉仪。

参考激光是固定不动的,而测量激光会随着移动反射器的移动而变化。

相长干涉:如果两束激光相位相同,测量光波会叠加增强,表现为亮的干涉条纹。

相消干涉:如果两束激光相位相反,测量光波会叠加抵消,表现为暗的干涉条纹。


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