实验室分析仪器--ICP的它激振荡器介绍
它激振荡器又称石英晶体控制振荡器，是ICP光源常用的一类高稳定度的高频电源。它的频率稳定是基于用石英晶体作振源。
首先介绍石英晶体振荡器。它是利用一定尺寸和规格的石英晶体构成，在晶片上镀上金属膜作为电极，利用石英晶体的压电效应，构成一个正弦波振荡器。石英晶体是按一定方位角切制的正方形或长方形薄片，当在晶片上加上一个电场，晶片就会发生机械振动；相反，在晶片上加上一个机械力又会在相应方向上产生电场。这种现象称为石英晶体的压电效应。若在晶片上下电极金属板上施加交流电压，就会产生响应的机械形变，也就是产生机械振动。通常情况下，这种形变的振幅很小，只有在外加交流电压为某一特定频率时，振幅才会突然增加。这种现象称为压电谐振，这一频率就称为晶体的谐振频率，它和晶体的尺寸有关。
可以用一个等效电路来表示石英晶体的谐振效应（见图1）。图中C0为金属板构成的静电电容，L、C为压电谐振的等效参数，R为振动时摩擦耗损的等效电阻。
图1 石英晶体振荡器的等效电路
图1，是一个并联谐振电路，它的谐振频率fr可由下式表示：
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用石英晶体振荡器构成的高频等离子体发生器的方框图见图2。线路中用一个频率为6.78MHz的石英晶体振荡器作为振源，经两次倍频以及两级功率放大得到27.120MHz、2.5kW的输出信号。再经过一个耦合器与负载（等离子体）相匹配。
图2 它激等离子体电源框图
1-石英振荡器（6.78MHz）；2-一次倍频（13.56 MHz）；3-二次倍频（27.12MHz）；
4-放大器；5-功率放大器；6-耦合器；7-感应圈；8-输出功率计；9-负反馈放大器；10-电源
图2所构成的发生器电源具有下述性能：
振荡频率 27.120MHz；
频率稳定性 优于0.005%；
输出功率 最大2.5kW，连续可调；
输出功率稳定性 优于0.01%；
反射功率 小于10W。
如果选用其他频率的晶体，经过倍频后也可得到输出频率为40.68MHz的高频电源。
