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实验室分析仪器--ICP-MS基本结构

2022.1.25

ICP-MS仪器结构不同厂家具有其特殊设计,但基本组成类似,主要包括雾化器、雾化室、ICP炬管、接口室、离子透镜、四极杆质滤器、检测器、机械泵、分子泵等。其基本结构为:

 

1)进样系统  

将样品直接汽化或转化成气态或气溶胶的形式送入高温等离子体炬。

 

2)ICP离子源  

使待测样品中的原子、分子在高温等离子体中电离转化为带电离子。

 

3)接口室  

连接常压高温等离子体及高真空质谱仪,从ICP离子源中提取样品离子流。

 

4)离子透镜  

将接口室提取的离子流聚焦成散角尽可能小的离子束,同时去除电子、光子、颗粒物等形成背景噪声的离子。

 

5)四极杆质滤器  

根据离子质荷比m/z分离离子,使不同质荷比的离子顺次通过。

 

6)检测器及数据处理系统  

接收被质滤器分离的离子,同时将离子信号转化为电信号,经转换、放大、处理后给出分析结果。

 

7)真空系统  

确保离子具有足够的平均自由程,降低离子之间的碰撞概率,通常由机械泵、涡轮分子泵来实现。

 

8)软件控制系统  

监测仪器工作状态,控制仪器各工作参数设定值。


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