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表面成分分析仪简介

2021.7.02

  表面成分分析仪是一种用于数学领域的计量仪器,于2016年12月1日启用。

  技术指标

  分辨率:(二次电子、高真空)15kV时1.2nm、 1kV时2.2nm加速电压:0.02~30KV放大倍数:10~2,000,000x。

  主要功能

  有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、背散射电子成像。 具有高性能x射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。

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