微 X 射线荧光 (µXRF)的基本信息介绍
微 X 射线荧光 (µXRF) 是一种元素分析技术，它允许检测非常小的样品区域。与传统的 XRF 仪器一样，微 X 射线荧光通过使用直接 X 射线激发来诱导来自样品的特性 X 射线荧光发射，以用于元素分析。与传统 XRF 不同（其典型空间分辨率的直径范围从几百微米到几毫米），µXRF 使用 X 射线光学晶体来限制激发光束尺寸或将激发光束聚焦到样品表面上形成小光斑，从而可以分析样品上的小特性。传统 µXRF 仪器使用简单的针孔光圈来限制样品表面上的入射光束尺寸。只有与孔同轴的 X 射线才从光圈发射。遗憾的是，该方法阻挡了 X 射线源发射的大部分 X 射线通量，导致样品上的入射通量低，这影响了该方法对微量元素进行分析的灵敏度。
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