电感耦合等离子体质谱仪维护保养要点分析
进样系统 - 雾化器
(1)由于雾化器中心的毛细管口径非常小，要求样品要溶解的彻底，不得含有沉淀或漂浮物，如果有少量沉淀要用滤膜进行过滤，否则容易堵塞雾化器。
(2)在用普通进样系统时，不得含有HF或氟化物，否则容易损坏矩管和雾化器，如果需要分析此类样品。需更换耐HF进样系统。
进样系统 – 雾化室和蠕动泵
(1)雾化室一般很少出现问题，基本属于免维护部件。
(2)蠕动泵部分主要是泵管长期受到挤压和磨损容易消耗，所以当上机结束后要将泵夹松开以延长泵管的使用寿命。
离子源 – 矩管
(1)矩管是ICP-MS中比较容易积碳和积盐的位置，如果发生堵塞，可以将堵塞部位浸入浓硝酸中煮沸。
(2)如果矩管的气体连接管周围变为黄褐色，这主要是有机物沉淀（气体管路中的增塑剂在高温下流失），对仪器性能没有影响。可以将矩管放入马弗炉中500℃烘烤几小时，以去除这些褐色沉淀物。
接口 – 双锥
(1)采样锥和截取锥的清洗选用棉棒蘸超纯水轻轻擦拭锥的正反两面，再用超纯水冲净后晾干使用。注意清洗时控制力度，不能破坏锥孔。
(2)洗净后检查锥孔的形状和大小，观察圆形锥孔是否变形、是否光滑，同时注意锥孔尺寸大小，如果采样锥孔径超过1mm，截取锥孔径超过0.4mm，则需要更换相应的锥。
冷却水系统
(1)定期更换冷却水，约每半年更换一次，同时滴加抑菌剂。
(2)每年检查一次水接头，防止漏水，必要时及时更换。
(3)定期清理水循环的散热器，三年左右检查制冷量。
机械泵
每个月都应该检查机械泵油，以保证泵油液面处于大、小刻度线之间，而且泵油颜色正常、洁净。如果泵油脏了，需要及时更换以保证仪器始终能维持良好的真空状态。
气路系统的维护
(1)定期检查外气路，看是否有漏气。
(2)定期检查内气路，看是否有漏气。
(3)注意养成良好的用气习惯：
开机前要确认气瓶的压力是否在正常范围内，一般为0.6-0.8MPa。
增压阀当上机结束后要及时关闭，以免造成泄压。
