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斐索干涉仪的光路

2021.6.25

  单色光源如氦氖激光器照明小孔H,形成一点光源。点光源射出的光束经分光镜G反射后,射向透镜L2,变成平行光束,然后垂直射向标准平晶P。一部分光被P上表面反射,另一部分光透过P射向被测件Q。被Q上表面反射的光束和被P上表面反射的光束进人观测系统后,会产生等厚干涉条纹,用以测量Q上表面的面形误差。若将标准平晶P改为球面样板,即下表面为球面,则可测球面的面形误差。把标准件P拿掉,使被测件Q的上、下表面反射的光束干涉,则可测Q的平行度 

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