斐索干涉仪的光路和设计
在光学元件加工时，可使用这些仪器来检查和测量光学元件的光学表面的质量，如平面度及其局部缺陷与误差等。干涉仪的光源S可采用准单色光源(如汞光灯、钠光灯)，发出的光经半透半反射镜P和透镜L，投射到标准平晶Q与待测光学元件G的夹层处；在O处可观察到等厚干涉条纹，由这些条纹的微小弯曲形状来判断待测光学平面的不平度。此干涉仪普遍使用激光作为光源，由于激光的单色性好、相干性好，因此标准平晶Q与待测光学元件G之间的距离可拉开，这样可大大方便检测操作；而且可获得亮度大、对比度好的干涉条纹，从而提高了测量精度和测量范围。
如果将标准平晶改换成标准球面样板透镜，即可构成球面干涉仪，用于检测球面的球面度及其局部缺陷与误差等。这里，利用了被测凹面镜的表面和与其曲率半径相当的标准样板透镜表面的两支反射光形成的牛顿环条纹。假若被测球面和标准球面完全相同，则条纹消失，呈现均匀的光场；如果出现的条纹是一些完整的同心圆环，则表示被测球面没有局部缺陷，但与标准球面的曲率半径有偏差
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