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斐索干涉仪简介

2021.6.25

  斐索干涉仪是一种原理为等厚干涉,用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的精密仪器。其测量精度一般为/10~/100,为检测用光源的平均波长。

  干涉仪的一种类型。由斐索(H.Fi zeau1819—1896)研究而得名。光路见图1,点光源S的光线经准直后,近乎正入射地照射被观察透明物体,光线在物体上下表面间多次反射,并从反射方向S'处观察干涉条纹。光学工厂用这种千涉仪来检验透明平行平板的光学厚度的均匀性。

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