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薄膜应力测试仪是一种用于物理学领域的工艺试验仪器,于2009年4月30日启用。主要适用于4、6英寸兼容的硅片测试,测试范围正负2个GPa。其功能是进行氮化硅、氧化硅薄膜的应力测试。
Antpedia 编辑
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