分析测试百科网 > 行业资讯 > 技术原理

FilmSense 椭偏仪不得不说的优点

2020.10.27

FilmSense FS-1多波长椭偏仪使用长寿命LED光源设计，使用寿命大于5000小时，同时FS-1的设计结构没有转动部件以确保设备的稳定性。总的来讲，FS-1是一台简单易用的紧凑型设计的椭偏仪但它能提供快速、可靠的薄膜测量。

FilmSense 椭偏仪的优点：

1、没有复杂的软件设置和维护。

2、测量精度只有用椭偏仪才能达到。

3、快速多次测量（多波长数据在10毫秒）且长期可靠性。

4、长寿命（>50000小时），不用频繁更换昂贵的灯泡，或定时校正或周期维护。

5、椭偏仪对薄膜Δ参数相位差极其敏感，能够准确的测量薄膜厚度低至0Å。

6、椭偏仪是测量比率，所以它对光束强度的变化，或样品的缺陷引起散射光不敏感的。

7、椭偏仪在每个波长测量2个量(Ψ and Δ)，可以确定2个定量比如薄膜厚度，以及光学常数或基底的折射系数和消光系数。

FilmSense 椭偏仪的应用：

1、FS -1可用于实验室研究，教学，在线制程监控，工业品质控制等应用。

2、半导体行业：硅的氧化物和氮化物，高和低k介质、多晶和非晶硅薄膜，光刻胶。

3、光学涂覆工业：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。

4、显示行业：导电层（如ITO），非晶硅薄膜、有机薄膜（OLED技术）。

5、数据存储产业：类金刚石薄膜。

6、R&D 工序：薄膜沉积的原位表征（速率和光学常数）对应工艺条件的变化值，适用于MBE、MOCVD、ALD、溅射等。

7、化学和生物：亚-单层材料吸附液体中的细胞实验检测。

8、工业：在线监测和控制薄膜的厚度。