扫描电子显微镜的二次电子检测
最常见的成像模式是收集低能(< 50 eV)二次电子，这些低能二次电子是通过一次电子与样品原子的非弹性散射相互作用从导带或价带发射出来的。由于能量低，这些电子源于样品表面以下几纳米的区域。[27] 采用艾弗哈特-索恩利探测器（ Everhart-Thornley detector）可以探测到二次电子，[27] 这是一种收集器-闪烁器-光电倍增器的耦合系统。首先是通过偏置电压约为+400 V的栅极吸引并收集二次电子，然后在正偏压约为+2000 V的磷光体或闪烁体中对二次电子加速。加速后的二次电子现在具有足够的能量来使闪烁体发射闪光(阴极射线发光)，这些闪光通过光导管和样品室壁上的窗口传导到扫描电镜柱外部的光电倍增器。光电倍增器输出的放大电信号显示为二维强度分布，可以在模拟视频显示器上观看和拍摄，或者经过模数转换并显示和保存为数字图像。这个过程取决于光栅扫描的一次电子。信号的亮度取决于到达探测器的二次电子数。如果光束垂直于表面进入样品，那么激活区域围绕光束轴呈均匀分布，并且会有一定数量的电子从样品中“逃逸”。随着入射角的增加，相互作用区域增加，光束一侧的“逃逸”距离减小，导致样品发射更多的二次电子。因此，陡峭的表面和边缘往往比平坦的表面更亮，这使得图像具有清晰的三维外观。利用二次电子信号获得分辨率小于0.5 nm图像是可能的。
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