智能程控匀胶机简介和技术指标
智能程控匀胶机是高精密的旋转涂膜仪。主要为高等院校、科研院所、研发中心等进行研究,开发各种功能薄膜所用。适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺表面涂覆。
技术指标
镀膜时间设置: 1~9999 sec/ step
旋涂速度:0~ 5,000 rpm
旋涂加速度:0 ~ 30,000 rpm/s (空载)
转速稳定性:1 rpm
转速可重复性:1 rpm
镀膜尺寸:φ10 ~ 200 mm
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智能程控匀胶机是高精密的旋转涂膜仪。主要为高等院校、科研院所、研发中心等进行研究,开发各种功能薄膜所用。适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺表面涂覆。
技术指标
镀膜时间设置: 1~9999 sec/ step
旋涂速度:0~ 5,000 rpm
旋涂加速度:0 ~ 30,000 rpm/s (空载)
转速稳定性:1 rpm
转速可重复性:1 rpm
镀膜尺寸:φ10 ~ 200 mm