扫描电子显微镜的工作原理
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)的工作原理是利用极细的聚焦电子束在样品表面作光栅扫描,电子束与样品表面相互作用产生各种信号,包括:二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线等,这些信号被探测器接收放大显示在显示屏上,可用于分析样品的微观形貌、晶体特征、元素组成等。
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