纳米压痕/纳米划痕测试仪的功能
压痕/划痕测试仪的基本功能是对材料的硬度、弹性模量、断裂韧性、蠕变、摩擦、磨损性能等进行测定，设计的材料几乎涵盖所以的材料研究领域，比较典型的包括薄膜和纳米材料、半导体材料、金属材料、先进功能材料、生物材料等。随着应用研究工作的深入，通过再压痕/划痕测试仪器的基础上改造、增添新的测试模块，仪器的功能不断得到拓展，现在压痕/划痕测试仪还可以开展材料的参与应力测量、冲击压痕测试、微悬梁臂等期间刚度系数测量、为拉伸。压缩测试、耦合高温、电场、湿润环境、多物理场等的测试以及微结构表面加工等。
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