纳米(微米)压痕/划痕测试仪
1) 多频率压痕测试 – 这种技术对于塑料高分子、MEMs等黏弹性受频率影响的材料变形研究非常有用，提供材料纳米压痕试验全频率范围的黏弹性响应；
2) 深至15nm的硬度&杨氏模量测试；
3) Windows XP环境下自动操作；
4) Spherical, Vickers及Berkovich纳米压痕测试；
5) 材料黏弹性的动态机械分析；
6) 潜变、疲劳、断裂刚性测试；
7) 压痕的分布地图绘制(Mapping)；
8) 选配的高低温测试；
9) AFM/SPM成像用于纳米尺度压痕图像观测；
10) 可以升级增加纳米(微米)划痕、微米硬度测试模块功能；
纳米压痕试验仪规格 | |
zui大压痕深度 | 4µm & 25µm自动距离修正(1000µm可选配) |
深度分辨率(理论) | 0.006nm |
深度分辨率(防振台＊) | 0.5nm |
zui大负载 | 50mN & 500mN自动距离修正 |
负载分辨率(理论) | 0.08µN |
负载分辨率(防振台＊) | 1µN |
X-Y运动范围 | 200 x 100毫米 |
X-Y横向分辨率 | 0.15µm |
Z向马达 | 90毫米 |
物镜镜头 | 标准: 10x, 50x, 100x (选配: 5x, 20x) |
＊ 依赖实验室环境 | |
应用领域
半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads)；
存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；
光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；
金属蒸镀层；
防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；
药理学(药片、植入材料、生物组织)；
工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)；
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