电子探针谱仪概述
原理：利用聚焦电子束（电子探测针）照射试样表面待测的微小区域，从而激发试样中元素产生不同波长（或能量）的特征X射线。用X射线谱仪探测这些X射线，得到X射线谱。根据特征X射线的波长（或能量）进行元素定性分析；根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。
适合分析材料:金属及合金，高分子材料、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析
应用领域：地质，冶金，石油，化工，矿产，农业等领域
注意事项：样品要有良好的导电、导热性，表面平整度等
特点：波谱仪分析的元素范围广、探测极限小、分辨率高，适用于精确的定量分析。 能谱仪分析速度快，可用较小的束流和微细的电子束，对试样表面要求不如波谱仪那样严格，因此特别适合于与扫描电子显微镜配合使用。
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