蓝宝石基MgZnO日盲探测材料制备及器件研制:(a) 准同质外延法制备W-Mg0.55Zn0.45O单晶薄膜的RHEED监测结果;(b)
W-Mg0.55Zn0.45O单晶薄膜的XRD θ-2θ扫描结果;(c) 利用反射谱测定W-Mg0.55Zn0.45O单晶薄膜的带隙结果;(d)
MSM结构W-Mg0.55Zn0.45O日盲紫外探测器原型器件的I-V测试结果;(e)
W-Mg0.55Zn0.45O日盲紫外探测器原型器件的光响应谱测试结果(插图为不同偏压下的光响应谱);(f)
W-Mg0.55Zn0.45O日盲紫外探测器原型器件的光响应速度测试结果。