EDX能谱分析：X射线如何工作
与BSE，SE和TE不同，X射线是电磁辐射，就像光一样，由光子组成。为了检测它们，zui新的系统使用了硅漂移探测器（SDD）。由于其具有更高的计数率、更好的分辨率和更快的分析能力，都优于传统的Si（Li）探测器。这些探测器被置于一个特定角度，非常接近样品，并且有能力测量X射线的光子能量。探测器与样品之间的立体角越高， X射线检测概率越高，因此获得zui佳结果的可能性也越大。
由EDX分析产生的数据包含了样品中所有不同元素对应的峰值的光谱。典型的EDX光谱：y轴描述X射线数量，x轴是X射线的能量。峰的位置是对元素的识别，峰高有助于对样品中各元素浓度的量化。
此外，EDX可以用于定性（元素的类型）以及定量（样本中每个元素的浓度百分比）的分析。在大多数SEM中，专用软件可以自动识别峰值，并计算检测到的每个元素的原子百分比。EDX技术的另一个优点是，它是一种非破坏性的表征技术，需要很少或不需要样品的制备
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