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生产半导体芯片过程中为什么需要洁净水

2022.6.15

生产半导体芯片的过程极为精密并充分自动化,除了在1PPM以下的洁净空间作业外,所有机台和材料清洗便需要纯水 DI water ,一般洁净水还不能通用。

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