迈克尔逊干涉仪
迈克尔逊干涉仪是根据光的干涉原理制成的精密测量仪器,它可精密地测量长度及长度的微小改变等。在现代科学技术中有着广泛的应用。
迈克尔逊干涉仪光学结构如图（1）所示，M1和M2是精密磨光的平面反射镜，相互垂直安装构成干涉仪的两臂，M1是动镜，在直线运动机构的驱动下沿轴向前后移动,如图中箭头所示，M2是定镜。G1是分束器，在G1的后表面上镀有分束膜，这就是所谓的介质膜分束器。分束膜由一种半透半反的光学材料制成。图中入射光线在分束膜处通过反射和透射被分成两束光，用深浅不同黑色和灰色的线段表示。G2是补偿板，其和分束器的区别是没有镀分束膜，这是为了使透过分束器的光束也同反射光束一样地三次通过透明光学平板，以保证两光束间无相位差。
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