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X射线光电子能谱仪的技术参数

2022.9.30

  指标信息: 主真空室:1×10-10 Torr XPS:0.5eV, AES: 分辨率:0.4%, 电子枪束斑:75nm , 灵敏度:1Mcps信噪比:大于70:1 角分辨:5°~90°. A1/Mg双阳极靶 能量分辨率:0.5eV ,灵敏度:255KCPS, 使用多通道检测器(MCD)

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