翘曲度测量仪的功能优点体现在哪里？
美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪特殊功能优点：
1、完全封闭的设计，温度更稳定。
2、特殊的设计使震动偏移降到较低。
3、图形式使用界面更容易使用。
4、当改变弹性模数，晶圆或薄膜厚度设备会自动重新计算应力保存数据文档。
5、可以计算双轴弹性模量和线膨胀系数。
6、可以计算应力的均匀性。
7、可以输出数据到Excel ，提供给SPC 分析。
8、多重导向销设计，手动装载样品，有优异的重复性与再现性研究。
9、优异的分辨率测量0.2um弓形高度变化超过 20M 的平镜（大约 0.8%）
10、FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪全3D测绘的手动旋转平台。
11、测量局部应力测量42 点/mm 并大于8400 点/200mm晶圆。这种测量密度获得更好的信号噪声比。
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