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残气分析仪的原理

2023.2.11

  残气分析仪是一个小体积的质谱仪,可直接连接在真空系统上,所有残气分析仪的工作原理都是一样的:一小部分的气体分子被离子化(阳离子),继而根据质量数的不同被分离,检测。

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