天美成功举办日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500产品发布会

2012.12.07

　　发布会同期还举行了关于日立IM4000离子研磨系统的技术介绍与现场指导。日立推出的IM4000离子研磨仪既可以对样品进行氩离子截面切割，又可以进行氩离子平面研磨，是截面样品制备和平面样品无应力抛光的理想工具。

天美(中国)科学仪器有限公司应用工程师高敞先生

　　天美(中国)科学仪器有限公司应用工程师高敞先生介绍了日立IM4000离子研磨系统的原理特点。

日立IM4000离子研磨系统

IM4000离子研磨仪

　　IM4000离子研磨仪的特点

　　1、兼有平面加工和截面加工两种加工方式。

　　2、高作业吞吐速度，提高了加工速率。

　　3、可脱卸样品托设计，方便样品安装，可精确定位加工位置。

　　4、样品台与日立扫描电镜通用，避免拆卸样品时引起的污染。

　　平面加工和截面加工的原理

平面加工原理

　　平面加工的原理是使用树脂包埋样品，根据需要观察的样品位置机械研磨、抛光后得到一个比较平整的表面，再放入IM4000中旋转或者摆动研磨加工。样品最大体积可以达到直径50mm×高度25mm，IM4000离子束的照射角度可以在0-90°之间选择，离子束加速电压在0-6KV间选择。离子束照射角度不同会影响到加工的效果，一般选择小角度的离子束称为平坦式加工，得到的样品表面平整，适合于观察晶粒分布，对分析有利；大角度离子束照射也称为浮雕式加工，得到的样品表面凹凸，适合观察多层架构样品的晶粒特征。

截面加工原理

　　截面加工的原理是使用树脂包埋样品，根据需要观察的样品位置放置一块mask板，mask板用来阻挡离子束，样品上没有mask板阻挡的地方就被加工掉。样品加工的厚度有10几个纳米到100nm，截面加工后的样品可以达到镜面加工的效果。加工过程中离子束照射角度为90°，加工电压在0-6KV间可调。使用IM4000截面加工的样品没有分层和扭曲，以及残留物，经过电镜分析可以清晰的看到内部结构，也可以提高能谱分析的分辨率。

　　平面加工和截面加工的特点及应用领域

　　平面加工可以达到直径5mm的大加工面积，摇摆加工采用60°，90°角。既适用于清洁样品表面，也可以用于机械研磨的最终处理，能够清除抛光痕迹和残留，得到的样品表面清晰，易于观察和分析。

　　截面加工具有很高的加工速率，可以达到300um/h，大大减少了加工时间；IM4000采用可脱卸式样品托，定位更加方便。样品台可以在±15°、±30°、±40°调节。截面加工的应用范围也很广泛。可加工那些机械抛光无法加工的样品截面，可加工微小尺寸样品，可解析出样品中的裂缝或者微孔，适用于观察多层结构的界面和软材料的截面制备。

　　随后高老师一边讲解IM4000的操作要领，一边演示了IM4000处理样品的过程。大家随时提问，受益匪浅。