SPM纳米加工技术
提示：扫描探针显微镜( scanning probe microscopes，SPM)，包括扫描隧道显微镜( STM)、原子力显微镜(AFM)、激光力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)等。SPM成为人类在纳米尺度上，观察、改造世界的一种新工具。STM是通过探测隧道电流来感知物体表面情况的，因而它有一主要缺陷：要求被测样品是导体或半导体，这在一定程度上限制了它
扫描探针显微镜( scanning probe microscopes，SPM)，包括扫描隧道显微镜( STM)、原子力显微镜(AFM)、激光力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)等。SPM成为人类在纳米尺度上，观察、改造世界的一种新工具。
STM是通过探测隧道电流来感知物体表面情况的，因而它有一主要缺陷：要求被测样品是导体或半导体，这在一定程度上限制了它的应用。原子力显微镜是一种对非导电样品也敏感的扫描探针显微镜，它通过探测原子间的近距相互作用力（范德华力）而非隧道电流来获取物体表面信息。这使得AFM在材料领域获得了极为广泛的应用，但目前其分辨率没有STM高。因此，没有束斑直径和平行度要求的STM和AFM有可能成为未来超大规模集成电路加工的首选工具，扮演非常重要的角色。从加工的精度来说，STM和AFM优于现行的任何刻饰技术，因为STM和AFM可以加工小到单个原子的结构(0.3 nm)。但是，用STM和AFM加工未来的集成电路，同样也必须解决加工速度的问题。
STM纳米加工的最早成果是IBM的科学家用一个个氙原子在镍表面上排布成IBM商标字样。目前在操纵原子、分子上又有很大发展，人们会有朝一日终将按照自己的意志直接操纵一个个原子来制造具有特定功能的产品。
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