化学气相沉积法需要哪些实验仪器和药品
1,首先你需要一台化学气相沉积机台，常见的有牛津的PECVD几台。
2,药品的话主要是一切特殊气体，如硅烷，氮气，氨气，氧气，笑气，氟化碳气体等。
3,试验步骤建议使用田口的DOE实验法，这样你可以省去一些不必要的试验。
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