CNS 13805-1997
光电半导体晶圆之光激光谱量测法

Method of Measurement for Photoluminescence of Optoelectronic Semiconductor Wafers

CNS 13805-1997 发布历史

1.1 本标准适用于光电半导体芯片之光激光谱（Photoluminescence）的测量。1.2 光激光谱测量的范围只在于激发光源照射的区域及离表面极浅的深度。此深度受限于光源的穿透力及光激载子的扩散距离。

CNS 13805-1997由台湾地方标准 CN-CNS 发布于 1997-02-03，并于 1997-02-03 实施。

CNS 13805-1997在国际标准分类中归属于: 17.180.01 光学和光学测量综合。

CNS 13805-1997的历代版本如下：

• 1997年02月03日 CNS 13805-1997 光电半导体晶圆之光激光谱量测法

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标准号

CNS 13805-1997

发布日期

1997年02月03日

实施日期

1997年02月03日

废止日期

无

国际标准分类号

17.180.01

发布单位

CN-CNS

适用范围

1.1 本标准适用于光电半导体芯片之光激光谱（Photoluminescence）的测量。1.2 光激光谱测量的范围只在于激发光源照射的区域及离表面极浅的深度。此深度受限于光源的穿透力及光激载子的扩散距离。