CNS 13805-1997
光电半导体晶圆之光激光谱量测法

Method of Measurement for Photoluminescence of Optoelectronic Semiconductor Wafers


 

 

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标准号
CNS 13805-1997
发布
1997年
发布单位
台湾地方标准
当前最新
CNS 13805-1997
 
 
适用范围
1.1 本标准适用于光电半导体芯片之光激光谱(Photoluminescence)的测量。1.2 光激光谱测量的范围只在于激发光源照射的区域及离表面极浅的深度。此深度受限于光源的穿透力及光激载子的扩散距离。

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