CNS 12846-1991
氦质谱仪示踪气探针探漏法

Helium Mass Spectrometer Leak Testing by Trace Probe Method


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CNS 12846-1991

标准号
CNS 12846-1991
发布
1991年
发布单位
台湾地方标准
当前最新
CNS 12846-1991
 
 
本标准适用于任何可被抽真空并可由外侧以探针施加氦气之对象,用于执行泄漏率大于或等于 1×10-9 std cm3∕sec 之漏源检验及定位,规定检验时机、检验装置、检验方法及检验程序之最低要求。特殊形状或性质之被检物探漏法,得依其它相关标准订定之,但不得低于本标准。

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