CNS 12846-1991
氦质谱仪示踪气探针探漏法
Helium Mass Spectrometer Leak Testing by Trace Probe Method
- 标准号
- CNS 12846-1991
- 发布
- 1991年
- 发布单位
- 台湾地方标准
- 当前最新
- CNS 12846-1991
- 适用范围
- 本标准适用于任何可被抽真空并可由外侧以探针施加氦气之对象，用于执行泄漏率大于或等于 1×10-9 std cm3∕sec 之漏源检验及定位，规定检验时机、检验装置、检验方法及检验程序之最低要求。特殊形状或性质之被检物探漏法，得依其它相关标准订定之，但不得低于本标准。
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