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伴随着微机电加工系统( MEMS )技术的发展,电子计算机已由当年的”庞然大物”演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统,甚至是一部微型的智能手机。...
总结来说,该研究成果证明了钛MEMS技术在制造坚固性、安全性和性能增强的新型药物输送和微流控系统的应用前景。...
⑪、微机电系统 微机电系统(MEMS)由1至100微米之间的组件大小组成。最zhi得注意的元素是微传感器和微致动器。 在集成微电子的控制下,MEMS设备的范围从简单的结构到具有多个移动元件的极其复杂的机电系统,一应俱全。换句话说,MEMS传感器是一种精密设备,其中机械零件和微型传感器以及信号调节电路都制造在一小片硅芯片上。 ...
应用:半导体制造(光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨);LCD 液晶显示器(聚酰亚胺、ITO 透明导电膜);光学镀膜(硬涂层、抗反射层);MEMS 微机电系统(光刻胶、硅系膜层)。 R50四探针电阻率测量仪Filmetrics R50 系列提供接触式四点探针 (4PP) 和非接触式涡流 (EC)测量。最快 1 点/秒的速度映射导电膜的电阻率/电导率。...
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