GB/T 38446-2020
微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
GBT38446-2020, GB38446-2020
- 标准号
- GB/T 38446-2020
- 别名
- GBT38446-2020, GB38446-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 38446-2020
- 引用标准
- GB/T 26111
- 适用范围
- 本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50nm 到数微米之间且长度和厚度的比值大于300 的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。